機械增壓泵是一種可以大幅提高泵送速度的泵。
通過與油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵組合，可以在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)大幅提高排氣速度。
它被應(yīng)用于許多領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體工藝、真空蒸餾、真空包裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞實驗、空間開發(fā)、真空浸漬和真空干燥。

機械增壓泵的殼體內(nèi)有兩個繭形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子安裝在軸端的驅(qū)動齒輪上，以相反的方向同步旋轉(zhuǎn)。從進氣口進入的氣體被困在機殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而從排氣口排出，再由下游級的輔助泵排入大氣。轉(zhuǎn)子在保持較小間隙（0.1至0.3毫米）的情況下旋轉(zhuǎn)并輸送氣體，而不會相互接觸或與殼體接觸，因此轉(zhuǎn)子室內(nèi)不需要潤滑油。因此，可以實現(xiàn)油蒸氣污染較少的真空排氣。