NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特長(zhǎng)


1. NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。




2. 低噪音、低振動(dòng)




3. 優(yōu)良的耐腐蝕性




4. 標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。




5. 選購(gòu)件




6. 可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。



用途


7. ?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。




8. ?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。




9. ?  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）




10. ?  作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。




11. ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。



• 技術(shù)參數(shù)
• 外形尺寸圖
• 抽氣速率曲線

* 1  極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。

* 2  無結(jié)露。

* 3  用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。

* 4  氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。

北崎9年，日本會(huì)社20年，專注領(lǐng)域如下：

光源相關(guān)：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

儀器相關(guān)：

山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設(shè)備相關(guān)：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫(kù)森KOKUSAN

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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