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ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵MS1200A

2025/04/27 17:51:56

特征

通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊的表面處理，實現(xiàn)了高耐腐蝕性。
螺旋式轉(zhuǎn)子軸采用的 ULVAC 設(shè)計，可提供高粉末排放性能。
從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運行。

應(yīng)用

真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、電子零件等離子清洗設(shè)備、半導體制造設(shè)備等。
真空熱處理爐、
燒結(jié)爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
、電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備、
冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。

*MS1200A 可配備附加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。

規(guī)格

模型		MS120A	MS600A	MS1200A
抽速1	立方米/^小時	115	560	980
極限壓力	爸爸	≦0.6	≦0.1
電源電壓		三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
大約功耗*2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體量*1	空間光調(diào)制器	0~50
水蒸氣處理量 1*3	公斤/小時	1.5
噪音等級*2	分貝(A)	61	62	64
進氣口		KF50(臥式) / VG50(立式)	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量*4	公斤	139	241	264
合規(guī)標準		CE、cTUVus
標準配件		快速手冊、電源連接器、防水線夾、信號連接器、電源連接器保護罩、消音器套裝
主機選項		電源電壓：200V或400V級密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM）
外部選項		外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣閥

*1：代表值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時的*水蒸氣處理能力。
*4: 含消音器

ZEISS 626107-110...

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