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首頁 >深圳市京都玉崎電子有限公司> 技術(shù)文章> ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵LS300A-C
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵LS300A-C
2025/04/27 17:52:48
特征
- 通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊的表面處理，實(shí)現(xiàn)了高耐腐蝕性。
- 螺旋式轉(zhuǎn)子軸采用的 ULVAC 設(shè)計(jì)，可提供高粉末排放性能。
- 從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運(yùn)行。
應(yīng)用
-
真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、電子零件等離子清洗設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備等。 -
真空熱處理爐、
燒結(jié)爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。 -
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
、電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、注液設(shè)備等。 -
醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備、
冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
*MS1200A 可配備附加控制板和傳感器。請(qǐng)聯(lián)系我們。
規(guī)格
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| *抽速*1 | 立方米/小時(shí) | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 爸爸 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大約功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量*1 | 空間光調(diào)制器 | 0~50 | ||
|
*水蒸氣處理量 *1*3 |
公斤/小時(shí) | 1.5 | ||
| 噪音等級(jí)*2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 進(jìn)氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 合規(guī)標(biāo)準(zhǔn) | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 快速手冊(cè)、電源連接器、防水線夾、信號(hào)連接器、電源連接器保護(hù)罩、消音器套裝 | |||
| 主機(jī)選項(xiàng) |
電源電壓：200V或400V級(jí) 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM） |
|||
| 外部選項(xiàng) | 外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進(jìn)氣口、信號(hào)）、吹掃氣閥 | |||
*1：代表值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時(shí)的*水蒸氣處理能力。
*4: 含消音器
