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EBARA荏原 干式真空泵 EV-S50
干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一種在抽氣過(guò)程中無(wú)需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比,干式真空泵具有無(wú)油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單、環(huán)保性能優(yōu)越等特點(diǎn),因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
干式真空泵通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體,無(wú)需液體密封或潤(rùn)滑。其工作原理主要依賴(lài)于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮,*終從排氣口排出。常見(jiàn)的干式真空泵類(lèi)型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
通過(guò)大范圍的溫度控制,擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝, 能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存,減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間,并且能夠靈活應(yīng) 對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。
技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)
隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步,干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如,采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗,通過(guò)智能監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和故障診斷。此外,新材料的應(yīng)用也進(jìn)一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
荏原的核心產(chǎn)品包括:
流體機(jī)械:全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案,廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域,其高效節(jié)能設(shè)計(jì)顯著降低碳排放。
環(huán)境工程:提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù),助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備:蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造