ULVAC愛(ài)發(fā)科 冷陰極電離真空計(jì) SC1

ULVAC愛(ài)發(fā)科 冷陰極電離真空計(jì) SC1

“Model：G-TRAN” 是一種真空計(jì)，基于以下理念開發(fā)的：（1） 降低設(shè)備成本，（2） 節(jié)省空間，（3） 減少配線，以便將各種設(shè)備的過(guò)程控制集中化和小型化。

它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

長(zhǎng)處

測(cè)量元件與測(cè)量電路的集成結(jié)構(gòu)

模擬和設(shè)定點(diǎn)輸出

獨(dú)立的偽對(duì)數(shù)輸出和設(shè)定值輸出（顯示單位）

48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸（顯示單元）

用

用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的過(guò)程控制

用于各種工業(yè)設(shè)備（如熔爐）的過(guò)程控制

用于對(duì)具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備進(jìn)行過(guò)程控制，例如在線和單晶圓類型

規(guī)范

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。