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EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P
干式真空泵是一種在抽氣過(guò)程中不使用任何油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比,干式真空泵在操作過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生油蒸氣或油霧,從而避免了油污染問(wèn)題。干式真空泵通過(guò)機(jī)械方式直接抽除氣體,通常采用多級(jí)壓縮或特殊設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空度。由于其無(wú)油、無(wú)污染的特性,干式真空泵在半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥生產(chǎn)、食品加工等對(duì)潔凈度要求極高的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
干式真空泵的工作原理主要依賴于機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件,如轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿,來(lái)壓縮和排出氣體。這些運(yùn)動(dòng)部件在泵腔內(nèi)高速旋轉(zhuǎn),形成多個(gè)密閉的工作腔室。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng),氣體被吸入工作腔室,隨后被壓縮并排出泵外。由于整個(gè)過(guò)程無(wú)需任何液體介質(zhì),干式真空泵能夠提供潔凈的真空環(huán)境,避免了油污染和介質(zhì)殘留問(wèn)題。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響。
化工行業(yè):適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除,滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。
食品加工:在食品包裝和脫氣過(guò)程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領(lǐng)域:用于實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn),提供無(wú)污染的真空環(huán)境。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
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