EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200P

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200P

干式真空泵有多種類型，常見(jiàn)的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。爪式干泵通過(guò)兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)。螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣體壓縮，適用于高流量和高真空度的場(chǎng)合。渦旋式干泵通過(guò)兩個(gè)相互錯(cuò)開(kāi)的渦旋盤(pán)來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮和排出，具有低噪音和高效率的特點(diǎn)。每種類型的干式真空泵都有其的優(yōu)勢(shì)和適用場(chǎng)景，用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的類型。

干式真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，干式真空泵的應(yīng)用至關(guān)重要。半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中需要極高的潔凈度和的真空環(huán)境，以避免任何微小的污染影響芯片的質(zhì)量和性能。干式真空泵在晶圓加工、薄膜沉積、離子注入和光刻等關(guān)鍵工藝中發(fā)揮著重要作用。例如，在化學(xué)氣相沉積（CVD）過(guò)程中，干式真空泵能夠有效去除反應(yīng)氣體和副產(chǎn)物，確保薄膜的均勻性和純度。此外，干式真空泵在蝕刻工藝中也廣泛應(yīng)用，通過(guò)提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保蝕刻過(guò)程的控制和高效進(jìn)行。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域，產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢(shì)
荏原的核心產(chǎn)品包括：
流體機(jī)械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域，其高效節(jié)能設(shè)計(jì)顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù)，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備：蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。