青島城陽區(qū)實驗室潔凈度檢測中心-天津中達檢測濟南分公司 在實驗室潔凈設計中,氣流分布是非常重要的一環(huán),氣流要按照要求流動,避免形成污染流的區(qū)域。對于上送風、下排風方式的潔凈室,空氣經過高效過濾器后,經過送風口垂直向下送風,空氣在地面產生湍流,再通過下方的排風口流出。對于全層送風、全層排風方式的潔凈室,空氣經過高效過濾器后,由送風口均勻進入室內,再通過排風口排出。
實驗室中高溫爐區(qū)、等離子區(qū)、測試區(qū)等要求達到千級等級;光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級凈間進行。微流控芯片加工實驗室通常要求在潔凈環(huán)境中,汶顥科技根據(jù)加工精度和客戶預算合適的實驗室潔凈等級(100級、1000 級、10000 級、100000 級),根據(jù)客戶需求和場地條件設置具體的功能區(qū)域,以滿足客戶的實驗需求。
實驗室組建主要包括潔凈室和外設系統(tǒng)的建設。潔凈室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室:1. 天花板系統(tǒng):包括吊桿、綱梁、天花板格子梁;2. 空調系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等;3. 隔墻板:包括窗戶、門;4. 地板:包括高架地板或防靜電舒美地板;5. 照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;6. 潔凈實驗室所需的實驗臺、試劑柜、更衣柜、鞋柜等。
為保測定結果的準確性,除嚴格控制進入潔凈室的測定人員外,并嚴禁攜帶書籍、報刊、紙張以及其他與測定工作無關的的物品進入潔凈室。不允許在室內做大幅度的動作和嬉鬧,造成地面塵粒飛揚。
在對潔凈室開展?jié)崈舳葯z測時,雖然要求了氣體的小采樣量,但在具體工作上,大家應在保小采樣量必要條件下,依據(jù)現(xiàn)有的檢測儀器,盡可能選用大流量的浮塵粒子計數(shù)器。3、潔凈室潔凈度檢測時,點的布置依據(jù)規(guī)范GBJ73-84《潔凈廠房設計規(guī)范》的要求:在對凈化車間開展?jié)崈舳葯z測時,檢測點應是距抹灰層1.00m的平面內;針對單邊流形凈化車間測點數(shù)量應不小于20點,測點間隔為0.5-2.0M。水準單邊流測點僅布置在*凈化車間工作中區(qū)域內;非單邊流凈化車間按凈化車間面積小于或等于五十米2布置五個測點。
風速風量換氣次數(shù);潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區(qū)內的污染空氣以維持室內、區(qū)內的潔凈度。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物,因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區(qū)內的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),記錄各測點風速的時間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室風量除以法凈室的容積求得。
潔凈室的氣體潔凈度等級檢測潔凈室在建成投產以前都必須根據(jù)空態(tài)、靜態(tài)數(shù)據(jù)、動態(tài)性來查驗其氣體潔凈度等級。說白了空態(tài)檢測,便是潔凈室內沒有一切生產線設備和微生物,并且凈化室內空氣調整系統(tǒng)軟件是一切正常運行的情況下;靜態(tài)數(shù)據(jù)檢測,字面意思,生產制造安裝設備進行,都還沒進到生產制造情況的情況下;動態(tài)性檢測,就更簡易了,便是全部的生產制造處在一切正常運作的狀況下對其溫度、環(huán)境濕度、正壓力、排風量風速等開展檢測。
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